半导体设备零部件行业深度：乘国产替代之东风，各路厂商百家争
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3.0 智报告 2023-07-03 10 0 4.22MB 62 页 8数查币
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电子 | 证券研究报告 — 行业深度
2023 年6月29 日
强于大市
公司名称
股票代码
股价
评级
富创精密
688409.SH
买入
中瓷电子
003031.SZ
买入
英杰电气
300820.SZ
买入
机器人
300024.SZ
买入
新莱应材
300260.SZ
买入
富乐德
301297.SZ
买入
资料来源：
Wind
，中银证券
以
2023
年
6
月
28
日当地货币收市价为标准
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中银国际证券股份有限公司
具备证券投资咨询业务资格
电子
证券分析师：苏凌瑶
lingyao.su@bocichina.com
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证券分析师：庄宇
yu.zhuang@bocichina.com
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证券分析师：李可伦
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kelun.li@bocichina.com
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证券分析师：陶波
bo.tao@bocichina.com
证券投资咨询业务证书编号：S1300520060002
联系人：茅珈恺
jiakai.mao@bocichina.com
一般证券业务证书编号：S1300123050016
半导体设备零部件行业深度
乘国产替代之东风，各路厂商百家争鸣
半导体设备零部件是半导体行业的基石，行业空间大、赛道多。海外对华半
导体限制之下，国产半导体设备零部件厂商承担替代重任，同时这也为相关
公司提供了历史性的增长机遇。
支撑评级的要点
设备零部件是半导体行业的基础。精密零部件技术的突破推动设备的迭
代升级。而设备的性能又决定了芯片的制程、功耗等关键参数。
中国大陆晶圆制造产能逆势扩张为设备和零部件行业发展提供信心支
撑。JW Insight 预计到 2026 年，中国大陆 12 英寸晶圆总产能将达到 300
万片/月以上，是 2022 年的两倍更多。
设备零部件空间大，赛道多。我们预计 2022 年，全球半导体设备零部件
市场规模约 484 亿美元，中国大陆半导体设备零部件市场规模约 250 亿
美元。半导体设备零部件分为机械、电气、机电一体、气/液/真空系统、
光学等子赛道。各细分子赛道均具有其独特的技术门槛。
半导体设备零部件亟待国产化。根据芯谋研究数据，静电卡盘、O形密
封圈、阀门、测量仪国产化率不足 1%；射频电源、机械臂、EFEM、气
体流量计国产化率 1~5%；陶瓷件、真空泵国产化率 5~10%；边缘环、
石英件、喷淋头国产化率超过 10%。随着美、荷、日等国的半导体限制
政策落地，半导体设备和零部件的国产化有望加速。
投资建议
富创精密。富创精密是国内领先的平台型半导体设备零部件厂商，在半
导体设备零部件国产替代浪潮中居于领先的位置。
中瓷电子。中瓷电子是国内领先的陶瓷材料供应商，其静电卡盘产品有
望打破海外垄断，实现国产“从 0到1”的突破。
英杰电气。英杰电气是国内领先的射频电源供应商，其相关射频电源产
品正在从工业级向半导体级升级和验证的过程中。
机器人。新松机器人已经成功实现半导体设备 EFEM 和真空机械手的量
产，并开始对国内设备厂出货。
新莱应材。新莱应材的高纯、超高纯管、阀类产品正在国内头部设备厂、
晶圆厂的认证过程中，其有望在国产替代浪潮中深度受益。
富乐德。富乐德是国内领先的半导体设备清洗服务商，有望受益于国内
晶圆厂的扩产。同时半导体设备零部件翻新业务或贡献新增长点。
评级面临的主要风险
半导体复苏进度低于预期。
中美科技竞争紧张态势缓和，美国放松制裁，美系设备卷土重来。
半导体设备和零部件研发、验证进度不及预期。
市场竞争格局恶化，价格战打压相关公司盈利能力。
2023 年6月29 日
半导体设备零部件行业深度
2
目录
半导体设备零部件是半导体行业的“基石” .................................................... 5
零部件间接推动半导体产业迭代升级 ................................................................................................. 5
半导体设备及零部件产业链 ................................................................................................................. 6
半导体设备零部件空间大，赛道广 ................................................................ 7
中国大陆晶圆制造厂逆势扩产 ............................................................................................................. 7
全球半导体设备零部件市场规模达到数百亿美元 ............................................................................. 8
半导体设备零部件赛道多，分类细 ................................................................................................... 10
半导体设备零部件国产替代正当时 .............................................................. 12
美国对华科技打压趋势不可逆转，日荷跟进限制 ........................................................................... 12
半导体设备国产化进入零部件深水区 ............................................................................................... 13
投资摘要 .......................................................................................................... 15
风险提示 .......................................................................................................... 16
富创精密 .............................................................................................................................................. 17
中瓷电子 .............................................................................................................................................. 24
英杰电气 .............................................................................................................................................. 32
机器人 .................................................................................................................................................. 36
新莱应材 .............................................................................................................................................. 45
富乐德 .................................................................................................................................................. 52
2023 年6月29 日
半导体设备零部件行业深度
3
图表目录
图表 1. 半导体的制造流程 .............................................................................................. 5
图表 2. 半导体产业的五个层次 ...................................................................................... 5
图表 3. 半导体设备及其零部件产业链 .......................................................................... 6
图表 4. 中国大陆 12 英寸晶圆制造厂布局 .................................................................... 7
图表 5. 中国大陆 12 英寸晶圆制造厂增量预估 ............................................................ 8
图表 6. 中国大陆晶圆制造产能快速提升 ...................................................................... 8
图表 7. 中国大陆是全球半导体设备重要市场 .............................................................. 8
图表 8. 2022 年全球和中国大陆主要设备厂毛利率 ...................................................... 9
图表 9. 2022 年中国大陆主要设备厂直接材料占成本比例 .......................................... 9
图表 10. 全球半导体设备零部件市场规模测算 ............................................................ 9
图表 11. 中国大陆半导体设备零部件市场规模测算 .................................................... 9
图表 12. 半导体设备零部件主要类型 .......................................................................... 10
图表 13. 2021 年全球半导体设备零部件细分市场占比 .............................................. 11
图表 14. 2022 年全球半导体设备零部件细分市场规模测算 ...................................... 11
图表 15. 美国对华科技打压脉络 .................................................................................. 12
图表 16. 阿斯麦在售的 ArFi DUV 光刻机型号 .......................................................... 12
图表 17. 日本外汇与外贸法相关修订法令 .................................................................. 13
图表 18. 半导体设备国产化率持续提升 ...................................................................... 13
图表 19. 半导体设备零部件国产化率 .......................................................................... 14
图表 20. 行业可比公司估值 .......................................................................................... 15
图表 21. 富创精密是中国领先的半导体设备零部件企业 .......................................... 18
图表 22. 富创精密半导体设备零部件产品 .................................................................. 18
图表 23. 富创精密的半导体设备零部件产品在前道设备中的应用 .......................... 19
图表 24. 富创精密占中国大陆半导体设备零部件的市场份额提升空间较大 .......... 19
图表 25. 富创精密客户集中度较高 .............................................................................. 20
图表 26. 富创精密境内营业收入增长较境外更快 ...................................................... 20
图表 27. 富创精密业绩预估 .......................................................................................... 21
图表 28. 富创精密可比公司估值 .................................................................................. 21
图表 29. 中瓷电子实控人是中电科背景 ...................................................................... 25
图表 30. 中瓷电子通信和工业类陶瓷产品 .................................................................. 25
图表 31. 中瓷电子消费电子和汽车电子类陶瓷产品 .................................................. 25
图表 32. 中瓷电子营业收入构成 .................................................................................. 26
图表 33. NTK 的静电卡盘产品 ..................................................................................... 26
图表 34. 全球半导体静电卡盘市场规模 ...................................................................... 27
图表 35. 博威公司、中电科 GaN 资产、国联万众的业绩承诺 ................................ 28
图表 36. 中瓷电子业绩预估（不考虑定增收购中电科旗下资产的情况） .............. 29
摘要：

电子|证券研究报告—行业深度2023年6月29日强于大市公司名称股票代码股价评级富创精密688409.SH人民币104.88买入中瓷电子003031.SZ人民币129.80买入英杰电气300820.SZ人民币82.40买入机器人300024.SZ人民币16.13买入新莱应材300260.SZ人民币39.62买入富乐德301297.SZ人民币22.49买入资料来源：Wind，中银证券以2023年6月28日当地货币收市价为标准相关研究报告《电子行业2023年中期策略》20230615《XR行业动态点评》20230609《电子行业2023年度策略》20221223中银国际证券股份有限公司具备证券投资...

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